JJF 1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF 1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF 1008-2008《压力计量名词术语及定义》、JJF 1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》、GB/T 3163-2007《真空技术 术语》共同构成本规范制定的基础性系列规范。
一、引用文件
《JJF 1050-1996 工作用热传导真空计校准规范》、《GB/T 30434-2013 电阻真空计通用技术条件》、《GB/T 3163-2007 真空技术 术语》、《JJF 1008-2008 压力计量名词术语及定义》、《JJF 1001-2011 通用计量术语及定义》等等。
二、原理
在一定的压力范围内,电阻真空计变送器(以下简称变送器)内的气体分子将热量从加热的灯丝传导到室温下的变送器外壳,分子带走的热量与分子密度有关,压力不同,密度不同。由于温度的变化导致灯丝电阻的变化,通过电桥电路测量,经过一定的函数关系式转换,最终间接地测量出压力。
三、测量标准及其他设备
1、电容薄膜真空计
2、电压表
3、 氮气气源
4、直流电源
属热传导真空计的一种。利用加热元件的电阻与温度有关,元件的温度又与气体热传导有关的原理,通过电桥电路来测量真空度的真空计。皮拉尼真空计又称电阻真空计。
电阻真空计变送器
利用加热元件的热传导性能,将压力变量转换为一给定的连续函数关系的可传输的标准化信号的仪表。
真空系统
由真空容器和产生真空、测试真空、控制真空等元件组成的真空装置。
四、校准
当系统本底压力满足变送器零点调整条件后,先按照变送器的产品技术要求对变送器进行零点和满量程调整。
当系统稳定度或升压率符合6.2.1要求后,开始校准。标准装置以压力由低到高的顺序逐个建立所需要校准的测量点,分别记录标准装置的压力值和变送器的实际输出电压值。校准点应包括变送器测量范围的上限值和下限值,其余各点在变送器被校准测量范围内均匀分布选取,每个数量级应不少于3个校准点,每个校准点测量3次。如有同型号仪器的数据积累,重复性对不确定度的影响可以根据以往数据给出,否则需要重复测量3次,并根据测量结果完成不确定度的评定。对于重复3次的测量,被校准变送器第二次和第三次的测量结果需要根据标准值作归一化处理,被校变送器的输出示值取归一化后三次测量值的平均值。