【专利】真空泵进气前处理装置(专利号:201811476006.0)

专利号：201811476006.0
专利状态：审中-公开
专利类型：[发明]
专利申请人：中昊晨光化工研究院有限公司
专利分类号：F04B39/16(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-06-12摘要:本发明涉及化工生产技术领域，公开了一种真空泵进气前处理装置，包括喷淋罐，所述喷淋罐设有进气口和出气口，所述出气口用于与真空泵管路连接，所述进气口位于所述出气口的下方；所述喷淋罐还设有喷淋头、过滤网、进水口和出水口，所述喷淋头和所述过滤网沿所述喷淋罐内气流方向设置，所述进水口连接所述喷淋头，所述出水口位于所述喷淋罐下部。本发明提供的真空泵进气前处理装置，气体经喷淋罐的降温和过滤处理后进入真空泵，满足真空泵对进气的较高洁净度要求，且设备简单实用、工艺流程简便。