【专利】微机电泵模块(专利号:201811477841.6)

专利号：201811477841.6
专利状态：审中-公开
专利类型：[发明]
专利申请人：研能科技股份有限公司
专利分类号：F04B49/06(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-06-12摘要:一种微机电泵模块，包含：一微处理器，发出一控制信号；一微机电芯片，电连接该微处理器，该微机电芯片包含：一芯片本体；多个微机电泵，设置于该芯片本体，且分别具有一第一电极及一第二电极；以及至少一共电极，设置于该芯片本体且电连接该多个微机电泵的该第二电极；其中，该多个微机电泵的该第一电极与该微机电芯片的该至少一共电极电连接该微处理器，以接收该控制信号。