【专利】微机电泵模块(专利号:201811477896.7)

专利号：201811477896.7
专利状态：审中-公开
专利类型：[发明]
专利申请人：研能科技股份有限公司
专利分类号：F04B49/06(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-06-12摘要:一种微机电泵模块，包含：一微处理器，发出一控制信号；一微机电芯片，电连接该微处理器，该微机电芯片包含：一芯片本体，为一长方形态样，具有一短边；多个微机电泵，设置于该芯片本体，且分别具有一第一电极及一第二电极；多个连接电极，设置于该芯片本体且邻近该短边，该多个连接电极分别电连接该多个微机电泵的该第一电极；以及至少一共电极，设置于该芯片本体且邻近该短边，该至少一共电极电连接该多个微机电泵的该第二电极；其中，该微处理器分别电连接该多个连接电极及该至少一共电极，以传输该控制信号至该多个微机电泵。