3 试验测试

为了验证泵的有效性和理论分析的正确性，试制了如图6所示的压电泵样机，表1和表2为压电振子及阀片的儿何参数。压电振子基体直径为50mm度为0.2mm，压电陶瓷直径为25mm,厚度为0.2 mm,阀片材料为65Mn弹簧钢片，曲臂厚度a为0.2mm，宽度b为1mm,阀体半径为3mm(阀口半径为2.5mm)，最大圈数n为0.75，泵体、泵盖和底座的材料为有机玻璃。

图6 压电泵样机

图7 MATLAB仿真电压与流量的关系

图7所示为泵流量式(12)在MATLAB中仿真计算的电压与流量的关系线，根据仿真结果可知:电压在220 V下，频率为30 Hz时，仿真流量为41.26ml/min，频率为20 Hz时，仿真计算流量为27.51ml/min。

试验采用的流体介质为纯净水，图8所示为压差试验示意图，图9所示为压电泵实际压差试验测试照。图10所示为泵流量试验示意图。流量测试时调整出水管4、进水管9和进水槽8内水源在同一水平高度，振子施加交流电，泵出的水接在量杯5中，用电了秤量取量杯5中单位时间内的流体质量，我们认为水的比重为1g/ml，所以水的质量值就是流量值。