【专利】磁轴承控制装置及真空泵(专利号:201710756833.4；108374800B)

专利号：201710756833.4;108374800B
专利状态：有权
专利类型：[发明授权]
专利申请人：株式会社岛津制作所
专利分类号：F04D29/058(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-06-16摘要:本发明提供一种磁轴承控制装置及真空泵，能够使干扰对应性能与噪声影响的减低并存。磁轴承控制装置通过电流传感器而检测由激磁放大器(43p、43m)向使转子磁悬浮的磁轴承供给的激磁电流，并根据基于转子悬浮位置相对于悬浮目标位置的偏差的电流设定信号(iset)与电流传感器的电流检测信号(Ip、Im)，而生成用以对激磁放大器(43p、43m)进行脉宽调制(PWM)控制的电压相当信号。而且，电压相当信号是基于作为电流设定信号(iset)与电流检测信号(Ip、Im)的差的电流偏差信号及电流设定信号(iset)而生成。