【专利】低温泵、真空处理装置(专利号:201710257499.8；107304760B)

专利号：201710257499.8;107304760B
专利状态：有权
专利类型：[发明授权]
专利申请人：爱发科低温泵株式会社
专利分类号：F04B37/08(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-06-16摘要:本发明提供一种振动被衰减的低温泵和真空处理装置。支承马达部（23）、冷冻部（24）和低温泵内部零件（35）的重量的马达部侧凸缘（44）借助防振装置（5）固定在泵壳侧凸缘（42）上。泵壳侧凸缘（42）经由泵壳（33）固定在真空室（16）上；由马达部（23）及冷冻部（24）产生的振动被防振装置（5）衰减而传递给真空室（16），所以能够在真空室（16）的内部进行高精度的处理。