【专利】用于真空泵送和/或减排系统的模块(专利号:201880073613.4)

专利号：201880073613.4
专利状态：审中-公开
专利类型：[发明]
专利申请人：爱德华兹有限公司
专利分类号：F04B37/14(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-06-19摘要:一个或多个连接点位于顶部侧部处。模块在第一系统维度中具有等于固定系统值的第一整数倍数的最大大小，第一系统维度是在横向侧部之间的维度。对于每个连接点，在第一系统维度中在该连接点和每个横向侧部之间的距离是固定系统值的相应第二整数倍数。