【专利】一种真空管路防倒流阀(专利号:201920614842.4)

专利号：201920614842.4
专利状态：有权
专利类型：[实用新型]
专利申请人：无锡宇邦半导体科技有限公司
专利分类号：F16K17/00(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-01-21摘要:本实用新型提供了一种真空管路防倒流阀，包括阀壳，阀壳上端设置有管路连接口，下端设置有真空泵连接口，阀腔内设置有隔板，隔板上贯穿滑动设置有阀轴，阀轴靠近管路连接口的端部上端面设置有密封盘，阀轴上在密封盘与隔板之间套装设置有挡板，挡板与隔板之间设置有第一弹簧，阀轴的另一端部设置有外部磁极，外部磁极旁侧设置有控制器，控制器靠近外部磁极的一侧内置有通电磁极；阀壳下端设置有检测口，检测口连接有压力感应器，压力感应器与控制器连接；第一弹簧释放时，密封盘位于管路连接口的下方。本实用新型提供的真空管路防倒流阀，检测压力异常时自动关断，反应时间短，有效阻断倒流，保护晶圆，避免腔体受到污染。