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万瑞超高真空冷泵通过国家02专项验收，中芯国际参与测试[荐]2019-04-10
近日，科技部组织召开国家02专项（极大规模集成电路制造装备及成套工艺）“国产集成电路装备零部件量产应用工程”项目综合绩效评价会议。会议上，万瑞公司承担的超高真空冷泵研发及产业化课题任务正式通过验收。 万瑞公司自2014年承担国家02专项超高真空冷泵研发及产业化课题任务以来，历时四年时间 [查看详情]
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