近日，科技部组织召开国家02专项（极大规模集成电路制造装备及成套工艺）“国产集成电路装备零部件量产应用工程”项目综合绩效评价会议。会议上，万瑞公司承担的超高真空冷泵研发及产业化课题任务正式通过验收。

万瑞公司自2014年承担国家02专项超高真空冷泵研发及产业化课题任务以来，历时四年时间，通过持续的技术研发和大量的半导体工艺验证，目前已成功开发出针对半导体行业应用的集成智能控制系统的一拖多低温泵组，该产品在机械和电气接口上和国外主流低温泵可以完全替换使用。

据万瑞公司官方介绍，该设备不仅具备优异的极限真空和抽速特性，更是突破了半导体行业十分关注的工艺压力稳定、本底压力快速恢复、快速再生、一台压缩机拖多台低温泵等关键技术难点。

相较于传统行业应用，半导体集成电路行业应用对低温真空泵提出了更高的要求，包括远程智能控制系统、极高的温度稳定性、工艺压力稳定性、快速本底真空恢复、较大的混合气体容量、高效再生等。

2018年11月，科技部02专项办组织了清华大学、中芯国际、中科信的多名专家成立了测试组，对万瑞公司研制的集成电路用超高真空低温泵进行了现场测试，测试结果表明产品整体技术状态达到国外同类产品先进水平。产品可广泛应用于半导体集成电路的PVD镀膜设备和离子注入机设备。（校对/小北）