专利申请号: | CN201210549476.1 | |
专利名称: | 双向闸阀和具有双向闸阀的衬底加工系统 | |
专利类型: | 发明专利 | |
专利权人: | 株式会社新动力等离子体 | |
专利发明人: | 崔大圭 | |
公告日期: | - | |
公告号: | - | |
专利摘要: | 公开了一种双向闸阀和具有双向闸阀的衬底加工系统。双向闸阀包括:阀室,其具有与第一室联接的第一入口、与第二室联接的第二入口以及可打开且可关闭阀室盖;移动模块,具有用于密封第一入口的第一密封板、用于密封第二入口的第二密封板以及第一和第二密封板安装到其上的移动模块主体;推-拉模块,具有推-拉模块主体、第一操作主体和第二操作主体;第一驱动装置;第二驱动装置;以及第三驱动装置,其用于使推-拉模块在操作位置和备用位置之间移动,其中,当推-拉模块被第三驱动装置移动至操作位置时,第一操作主体由第一驱动装置操作或第二操作主体由第二驱动装置操作以便选择性地密封第一入口和第二入口之一。 |
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邮编地址: | 韩国京畿道 | |
点击率: | 189 | |
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