十多年前开始在真空电子技术相关工艺设备中应用低温泵、干泵无油系统来获得超高真空，效果满意。这次尝试将低温泵快速、洁净和可靠的独特优势应用到真空炉中。将低温泵并入真空系统中，达到清洁的超高真空环境。本文.. [详细]

低温泵是利用低温表而冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵，它已是获得清洁真空的极限压力最低、抽气速率最大的真空泵，广泛应用于半导体和集成电路的研究及生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表而分析仪器、离子注.. [详细]

1)密封腔外加水冷腔，冷却密封部位;2)轴承体带冷却筋片，加强散热;3)轴承部位加水冷腔，冷却轴承和降低润滑油的温度;4)轴末端设置风扇，提高散热片的冷却效果，加强机组附近的空气流通;5)设置甩油环，增加轴承的冷却.. [详细]