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CI超高真空蝶阀
CI超高真空蝶阀用于接通或切断真空管路中的气流。蝶门经过两次动作完成关闭或打开蝶门的过程,阀体的两面没有正反面安装方向,阀们的压强范围可拓宽到2x105-6.7x10-7Pa.适用介质为纯净空气或非腐蚀性气体。
主要技术性能
适用范围: |
2x105~6.7x10-7Pa |
阀门漏率: |
≤1.3x10-7 Pa.L/S(正反向) |
适用温度: |
-30~+80℃ |
安装状态: |
任意 |
安装方向: |
任意 |
开启压差: |
推荐值:1x105Pa; 最大值:2x105Pa. |
开门角度: |
0-90°任意调节 |
外形及连接尺寸(mm)
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