本发明涉及MEMS阀运行轮廓。提供了一种具有微机电系统的MEMS流体控制系统。所述系统包括多个口、腔、阀、促动器和一对电触点。多个口与腔连通，阀布置在腔内，且阀连接到促动器。系统进一步包括液压回路，所述液压回路具有与第一多个口连通的压力供给管线，与第二多个口连通的控制管线，和与第三多个口连通的排出管线。阀包括细长部分和阻断部分，所述阻断部分包括第一、第二和第三部分。