【专利】一种管式PECVD真空泵尾排吹扫T型装置(专利号:201922030084.4)

专利号：201922030084.4
专利状态：有权
专利类型：[实用新型]
专利申请人：湖北天合光能有限公司
专利分类号：C23C16/513(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-06-16摘要:本实用新型公开的属于机械设备配件技术领域，具体为一种管式PECVD真空泵尾排吹扫T型装置，包括弧形管、第一管道和弯管，所述弧形管的右侧壁固定连接所述第一管道，所述第一管道的左侧壁贯穿所述弧形管的内腔右侧壁后与所述弯管的右侧壁螺纹连接，该种管式PECVD真空泵尾排吹扫T型装置，将装置用真空卡箍与管道密封连接，打开手动阀，足够压力的压缩空气可以将真空管道内的粉尘顺利地吹向燃烧桶，配合弯管，使吹风过程沿内壁弧形上升，可把底部沉积的粉尘同步清理，避免堆积，避免人工清理粉尘的人力消耗和粉尘污染问题，为真空泵提供了良好的抽风的环境，增加真空泵尾排抽风量，延长其使用寿命，减少大笔维修成本。