【专利】磁性轴承控制装置和真空泵(专利号:201880073133.8)

专利号：201880073133.8
专利状态：审中-公开
专利类型：[发明]
专利申请人：埃地沃兹日本有限公司
专利分类号：F16C32/04(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-06-16摘要:提供了不需要位移传感器且能够实现高精度的控制并且小型且低成本的磁性轴承控制装置和真空泵。在电磁石5中流动的电流值Im的时间微分即变化率（di/dt）根据目标构件1与电磁石5之间的间隙3的位移的大小而变化。在此，变化率（di/dt）能够通过检测在感应性元件9的两端产生的电压值Vs来求取。因此，只要检测到电压值Vs，就能够通过运算来估计间隙3的位移的大小。相对于电磁石5串联地连接感应性元件9，通过差动输入放大器21检测感应性元件9间的电压Vs。PWM开关放大器11的开关的一个周期期间由电磁石5的电流控制期间和用于检测变化率（di/dt）的位移检测期间构成。然后，位移检测期间进而由一定时间的电流增加期间和电流减少期间构成。电流增加期间和电流减少期间相等。