【专利】一种新型阳极筒阵列的溅射离子泵(专利号:201811522318.0；109360780B)

专利号：201811522318.0;109360780B
专利状态：有权
专利类型：[发明授权]
专利申请人：东北大学
专利分类号：H01J41/12(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-05-26摘要:一种新型阳极筒阵列的溅射离子泵，其特征在于，包括壳体，壳体顶部设置有进气口，壳体的左右两侧分别安装有磁铁，阳极筒阵列绝缘地安装于壳体内部，且阳极筒阵列两侧分别设置有阴极板，高压电极与进气口固定装配，其正电位与阳极筒阵列相连，零电位分别与两个阴极板相连，阴极板与阳极筒阵列之间构成用于抽除气体的腔室，阳极筒阵列由多组阳极筒组成，距离进气口越近的阳极筒，半径越大，高度越低，阳极筒上下表面与阴极板之间的间隙越大，距离进气口越远的阳极筒，半径越小，高度越高，阳极筒上下表面与阴极板之间的间隙越小；本发明可以大幅度提高溅射离子泵中单位体积内的抽气速率，且在超高真空环境下也能保持较高抽速工作。