【专利】一种半导体芯片高压喷淋清洗用空气泵(专利号:201921266944.8)

专利号：201921266944.8
专利状态：有权
专利类型：[实用新型]
专利申请人：威海奥牧智能科技有限公司
专利分类号：F04B37/12(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-05-26摘要:本实用新型公开了一种半导体芯片高压喷淋清洗用空气泵，包括升压部、驱动部，升压部固定设置于驱动部的前侧；驱动部包括前部组件、后部组件、缸体，前部组件、缸体、后部组件从前到后依次设置且进行机械密封；本实用新型的空气泵能对制程45nm以下的半导体芯片进行高压喷淋清洗，清洗效果更好；并且空气泵由升压部与驱动部配合设置，空气泵的体积更小，重量更轻，且不需要外置的蓄能器供能，具有占地面积更小，维护成本更低的优点，有利于进行车间管理。