【专利】膜片截止阀及其制造方法(专利号:201611195610.7；108217576B)

专利号：201611195610.7;108217576B
专利状态：有权
专利类型：[发明授权]
专利申请人：上海傲睿科技有限公司
专利分类号：B81B7/02(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-05-22摘要:本发明公开了一种膜片截止阀及其制造方法，属于膜片截止阀技术领域，为解决现有结构体积过大等问题而设计。本发明膜片截止阀包括进液口、进液流道、出液口、可动膜片、基底和气体捕捉与释放结构；进液口和出液口位于同一个进液空腔内；可动膜片、基底、以及气体捕捉与释放结构围拢成封闭的气体空腔，气体空腔内包含与气体捕捉与释放结构相匹配的气体成分。本发明膜片截止阀及其制造方法实现了膜片截止阀的小型化，便于集成设计片上流体控制系统，可以实现全系统集成，适用于MEMS微流体领域；该膜片截止阀的结构可以兼容驱动热泵的结构，从而可以有效地集成到一个系统内部。