【专利】真空泵、转子、转子翅片及壳(专利号:201880066704.5)

专利号：201880066704.5
专利状态：审中-公开
专利类型：[发明]
专利申请人：埃地沃兹日本有限公司
专利分类号：F04D19/04(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-05-19摘要:本发明在真空泵中不损害排气效率地抑制粒子的逆流。该真空泵具备具备转子中心部（12）和从转子中心部（12）延伸而具有既定的仰角的多层的转子叶片部（3a）的转子（11）、容纳该转子的壳（1）。该转子（11）还具备转子翅片（21），转子翅片（21）具备与转子中心部（12）的端部连接的翅片轴部（31）、从翅片轴部（31）延伸而使经由吸气口（7）向上述的端部落下来的粒子（101）向转子（11）的外周方向反弹的移送叶片（32）。并且，移送叶片（32）的转子轴方向的高度及张数基于粒子（101）的落下速度及转子（11）的旋转速度设定成，粒子（101）不与移送叶片（32）碰撞，不向上述的端部落下。