【专利】磁轴承控制装置及真空泵(专利号:201811013001.4；109424646B)

专利号：201811013001.4;109424646B
专利状态：有权
专利类型：[发明授权]
专利申请人：株式会社岛津制作所
专利分类号：F16C32/04(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-05-22摘要:本发明提供一种磁轴承控制装置及真空泵。本发明的磁轴承控制装置包括：电流旋转成分运算部(60)，针对至少一轴的磁轴承，算出电流旋转频率成分相对于基准旋转信号的相位φ2及振幅值；位移旋转成分运算部(62)，算出位移旋转频率成分相对于基准旋转信号的相位φ1及振幅值；以及电流直流成分运算部(61)，算出由位移旋转频率成分所产生的力被由电流旋转频率成分所产生的力抵消的情况下，电流旋转频率成分的振幅与位移旋转频率成分的振幅之比I_D，并且，以相位φ2与将相位φ1加上相位值180度所得的值相等，且电流旋转频率成分的振幅值与位移旋转频率成分和比I_D之积相等的方式进行反馈控制。