【专利】一种泵驱薄膜蒸发高热流密度电子器件散热装置及方法(专利号:202010027236.X)

专利号：202010027236.X
专利状态：审中-公开
专利类型：[发明]
专利申请人：西安交通大学
专利分类号：H01L23/427(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-05-12摘要:本发明公开了一种泵驱薄膜蒸发高热流密度电子器件散热装置及方法，包括储液装置、压电微泵、蒸发器、微型泵、冷凝器以及连接各个部件的管道、阀门。冷却工质储存在储液装置中，通过压电微泵进入蒸发器，产生的气态冷却工质通过微型泵驱动，经由冷凝器冷却至液态，最后进入储液装置中。另外，蒸发器中的多余液态冷却工质也进入储液装置中。在蒸发器中，液态冷却工质由补液器从垂直方向补充到微结构表面上，通过补液器、纳米多孔膜、微结构表面和液体通道的共同作用，使得在纳米多孔膜和微结构表面之间能够形成一层厚度均匀、连续的微液膜，能够实现超高热流密度下的散热。