【专利】空气喷射装置、液环真空泵及拉晶炉(专利号:201911295810.3)

专利号：201911295810.3
专利状态：审中-公开
专利类型：[发明]
专利申请人：西安奕斯伟硅片技术有限公司
专利分类号：C30B15/00(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-05-12摘要:本发明公开了一种空气喷射装置，包括相互连接的装置本体和扩压器，其中，装置本体的内部包括吸入室，装置本体的侧壁开设有用于供炉内气体进入吸入室的吸入口和用于供炉内气体排出吸入室的排出口；装置本体上还设置有用于供外界空气进入吸入室的进气管，进气管位于吸入室内的一端包括第一喷嘴；扩压器的一端连接排出口，另一端与液环真空泵连通；空气喷射装置还包括喷淋机构，喷淋机构设置在进气管的入口处。该空气喷射装置在外界空气的输入口增加喷淋机构，产生的雾化液体可以对堵塞位置产生撞击力，有效地改善堵塞状况，提高液环真空泵的抽气效能。另外，本发明还提供了基于该空气喷射装置的液环真空泵和拉晶炉。