【专利】双端口远程等离子清洁隔离阀(专利号:201880063086.9)

专利号：201880063086.9
专利状态：审中-公开
专利类型：[发明]
专利申请人：应用材料公司
专利分类号：H01J37/32(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-05-22摘要:本公开总体涉及一种用于处理系统中的隔离装置。所述隔离装置具有主体，所述主体具有：入口开口，所述入口开口设置在第一端部处，所述入口开口耦接到处理系统部件，诸如远程等离子体源；以及出口开口，例如两个出口开口，所述出口开口设置在第二端部处，所述出口开口耦接到处理系统部件，诸如工艺腔室。设置在所述主体内的翻板可从关闭位置致动到打开位置或可从打开位置致动到关闭位置，以选择性地允许或阻止流体从耦接到所述隔离装置的所述处理系统部件传递到另一个处理系统部件。