【专利】阀装置、流量调整方法、流体控制装置、流量控制方法、半导体制造装置和半导体制造方法(专利号:201880062388.4)

专利号：201880062388.4
专利状态：审中-公开
专利类型：[发明]
专利申请人：株式会社富士金
专利分类号：F16K31/02(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-05-08摘要:本发明提供一种不使用外部传感器就能够精密地调整由经时、经年等引起的流量变动的阀装置。该阀装置具有利用了压电元件的调整用驱动器(100)，该压电元件用于调整定位于开位置的操作构件的位置，调整用驱动器(100)的驱动电路(200)具有：检测部(210)，其检测与在压电元件发生的应变量相关的电信号；以及控制部(210)，其基于与压电元件的应变量相关的电信号控制调整用驱动器(100)，以使由阀芯引起的流路的开度变为目标开度。