【专利】内置式低温泵(专利号:201911373243.9)

专利号：201911373243.9
专利状态：审中-公开
专利类型：[发明]
专利申请人：浙江博开机电科技有限公司
专利分类号：F04B37/08(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-05-08摘要:本发明涉及低温泵技术领域，公开了内置式低温泵，其包括制冷机(1)和冷板组件(2)，制冷机(1)与冷板组件(2)连接并冷却冷板组件(2)，还包括泵口法兰(3)，制冷机(1)和冷板组件(2)均固装在泵口法兰(3)上，泵口法兰(3)与待真空腔室(5)的开口处配合并实现密封，冷板组件(2)伸入待真空腔室(5)内并通过泵口法兰(3)进行固定。本发明通过无泵壳设计和内置于腔体腔体，使冷板组件于腔体内气体充分接触，这使得冷板组件对气体的吸附更加均匀，有效面积增大，吸附速度较传统低温泵有量级提升，同时由于其有效面积的增大，冷板组件对气体的吸留极限也有量级的提升。