【专利】共享干泵系统的控制方法以及共享干泵系统(专利号:201811286292.4)

专利号：201811286292.4
专利状态：审中-公开
专利类型：[发明]
专利申请人：北京北方华创微电子装备有限公司
专利分类号：F04B49/06(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-05-08摘要:本发明提供一种共享干泵系统的控制方法，共享干泵系统包括干泵和多个具有工艺腔的设备模块，多个设备模块包括至少一个第一设备模块和至少一个第二设备模块，第一设备模块还包括冷泵，控制方法包括：确定多个设备模块的优先级；接收到申请使用干泵的多个申请信号后，根据优先级以及接收到各个申请信号的时间对发送申请信号的多个设备模块使用干泵的次序进行排序；控制方法还包括在工艺阶段进行的以下步骤：当当前使用次序的设备模块为第一设备模块时，控制可控阀处于开启状态，当当前使用次序的设备模块为第二设备模块时，控制可控阀处于关闭状态。所述控制方法可以控制多个设备模块使用干泵的顺序，满足用户需求成为亟需解决的问题。