【专利】一种可防止尾气沉积的PECVD用分子泵(专利号:201921017641.2)

专利号：201921017641.2
专利状态：有权
专利类型：[实用新型]
专利申请人：中国乐凯集团有限公司
专利分类号：F04D29/30(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-04-17摘要:本实用新型涉及一种可防止尾气沉积的PECVD用分子泵，包括分子泵本体、真空进气管路，在真空进气管路中设置尾气吸附机构，所述尾气吸附机构由箍圈、气路栅格和金属网组成。本实用新型未反应的尾气经过吸附装置时，在其表面继续沉积成固体镀层，从而减少到达分子泵内部的未反应尾气的含量并削弱尾气中的能量，减缓分子泵内壁及涡轮叶片上杂质镀层的沉积速度，能够在一定程度上保护分子泵，延长分子泵的使用周期。