【专利】真空泵(专利号:201610131171.7；105952614B)

专利号：201610131171.7;105952614B
专利状态：有权
专利类型：[发明授权]
专利申请人：株式会社荏原制作所
专利分类号：F04B37/16(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-04-21摘要:本发明提供一种真空泵，其能够抑制异物侵入至转子间等的间隙，并且能够得到低的极限压力。真空泵具有沿着第一轴线方向延伸地形成的两根旋转轴、转子壳体、转子和遮蔽部。在转子壳体上形成有沿着两根旋转轴设置的转子室、与转子室连通的吸入口和与转子室连通的排出口。转子安装于两根旋转轴，并配置在转子室中。遮蔽部以防止从吸气口被吸入至转子室的气体直接趋向转子间的间隙的方式构成，并设在吸气口和转子室内部之间。