【专利】一种基于接口为CF400的分子泵抽速测试系统及方法(专利号:201810772557.5；109026804B)

专利号：201810772557.5;109026804B
专利状态：
专利类型：[发明授权]
专利申请人：北京东方计量测试研究所
专利分类号：F04D27/00(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-07-31摘要:本发明涉及一种基于接口为CF400的分子泵抽速测试系统及方法，该系统仅采用流量法一种方法测量抽速，研制了满足CF400分子泵测试需求的超高真空测试罩，采用复合型标准气体流量计在一套系统上实现了真空罩内处于10?1Pa～10?7Pa的压力范围下，能够对分子泵抽速范围实现3000L/s～5000L/s内的测量。真空系统的机械泵通过第一阀门与分子泵的抽气出口连接，分子泵的入口与第一真空室连接，第一真空室上面接了副标准电离真空计、监测真空计和第三阀门，第三阀门的另一端与第二真空室连接，第二真空室上面连接了第三阀门、复合型标准气体流量计的出气口，复合型标准气体流量计的进气口与第二阀门连接，第二阀门的另一端与气瓶连接。