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【专利】微机电泵模块(专利号:201811477892.9)

来源:互联网 时间:2020-7-2 15:41 点击:490
专利号:201811477892.9
专利状态:审中-公开
专利类型:[发明]
专利申请人:研能科技股份有限公司
专利分类号:F04B49/06(20060101)
专利摘要:公开(公告)日:2020-06-12摘要:一种微机电泵模块,包含:一微处理器,发出一控制信号;一微机电芯片,电连接该微处理器,该微机电芯片包含有:一芯片本体,为一长方形态样,具有一长边;多个微机电泵,设置于该芯片本体,且分别具有一第一电极及一第二电极;多个连接电极,设置于该芯片本体且邻近该长边,该多个连接电极分别电连接该多个微机电泵的该第一电极;以及至少一共电极,设置于该芯片本体且邻近该长边,该至少一共电极电连接该多个微机电泵的该第二电极;其中,该微处理器分别电连接该多个连接电极及该至少一共电极,以传输该控制信号至该多个微机电泵。