【专利】一种便于调节的碳化硅制备用Ar充入阀门(专利号:201921053202.7)

专利号：201921053202.7
专利状态：有权
专利类型：[实用新型]
专利申请人：天津市卓辉电子有限公司
专利分类号：F16K3/02(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-05-19摘要:本实用新型公开了一种便于调节的碳化硅制备用Ar充入阀门，包括阀门外壳，所述阀门外壳内部设置有阀道，所述阀门外壳固定连接有检测装置，且检测装置与阀道连通，所述阀门外壳底部固定连接有控制面板，所述阀门外壳顶部固定有保护壳，且保护壳与阀道连通，所述保护壳内壁固定有驱动装置，所述驱动装置输出端固定连接有闸板，所述闸板底部固定有闸销，所述阀门外壳内壁固定连接有固定块，所述固定块开设有定位卡槽，此便于调节的碳化硅制备用Ar充入阀门可以检测到碳化硅制备过程中的所需要的氩气，再通过控制面板对电机做出反应来控制阀门开关，比人工控制阀门更加准确，操作简单，而且省时省力。