【专利】一种压电微泵及气体控制装置(专利号:202010073930.5)

专利号：202010073930.5
专利状态：审中-公开
专利类型：[发明]
专利申请人：常州威图流体科技有限公司
专利分类号：F04B45/047(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-05-12摘要:本发明涉及流体控制领域，具体涉及一种压电微泵及气体控制装置。一种压电微泵，包括：共振件，所述共振件由外到内依次为板件部、连接部和共振部，所述共振件的一个面为平面，在所述共振件的另一个面上，所述共振部的中部形成凹陷结构，所述连接部上分布有出气孔；压电振子，所述压电振子与所述共振件层叠设置，所述压电振子靠近所述共振件的平面，所述压电振子上设置有进气孔，所述进气孔正对所述共振部的凹陷结构。解决了现有技术中存在的很难同时提高压电微泵输出流量和输出压力即能量转换效率低的技术问题。