【专利】一种抗腐蚀耐高温内置样品池的超声分子束脉冲阀(专利号:201811479836.9；109578671B)

专利号：201811479836.9;109578671B
专利状态：有权
专利类型：[发明授权]
专利申请人：山西大学
专利分类号：F16K31/06(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-05-05摘要:本发明一种抗腐蚀耐高温内置样品池的超声分子束脉冲阀；解决了目前脉冲阀无法将样品加热到200oC以上以提高样品分子浓度获得更好测量信噪比问题，解决了碱金属等样品对橡胶部件具有腐蚀作用问题；本脉冲阀包括进气口、阀盖和阀体，阀体的外周设有电磁线圈，阀盖与阀体的上端相连，阀体下侧与真空法兰密封连接，真空法兰的中部设有样品池，样品池的四周利用密封铜圈与阀体密封，样品池的底部设有气体出射孔，气体出射孔的内部由开关顶针密封，载气由进气口进入，在电磁线圈的作用下，开关顶针可以上下运动，开闭气体出射孔，在气体出射孔打开的瞬间，载气夹带着样品池内样品挥发的饱和蒸气通过气体出射孔绝热膨胀进入高真空形成超声分子束。