【专利】一种单向阀及其制备方法(专利号:202010057100.3)

专利号：202010057100.3
专利状态：审中-公开
专利类型：[发明]
专利申请人：苏州原位芯片科技有限责任公司
专利分类号：F16K99/00(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-05-08摘要:本发明公开一种单向阀及其制备方法，所述单向阀包括依次堆叠的第一基片层、中间层、第二基片层，其中：所述第一基片层，设置有第一开口；所述中间层，设置有单向阀体，所述单向阀体包括活塞柱结构以及被所述活塞柱结构间隔的流道，所述活塞柱结构通过活塞弹性膜片与所述中间层相连接；所述第二基片层，设置有第二开口，所述第二开口可与所述流道连通；所述活塞弹性膜片具有预应力变形。本发明的单向阀具有如下优点：(1)可以主动防止流体回流，具有响应快，流控精度高等特点；(2)结构紧凑简单、易加工、体积尺寸小，制造成本低，可大批量生产；(3)通过控制活塞柱下表面与阀体下表面高度差，来预设阀门开启阈值，可满足更多应用场景。