【专利】拖曳泵和包括拖曳泵的真空泵组(专利号:201880061402.9)

专利号：201880061402.9
专利状态：审中-公开
专利类型：[发明]
专利申请人：爱德华兹有限公司
专利分类号：F04D19/04(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-05-01摘要:公开了一种用于泵送气体的拖曳泵和一种包括该拖曳泵的真空泵组。该拖曳泵包括：转子，所述转子构造成在定子部件内旋转并且将待泵送气体从气体入口驱动至气体出口；磁轴承，所述磁轴承用于将转子可旋转地安装在泵内；其中，转子和定子部件的构造成接触待泵送气体的至少一部分构造成在高于130℃的温度下操作。