专利号:201810073574.X;108506225B
专利状态:有权
专利类型:[发明授权]
专利申请人:株式会社岛津制作所
专利分类号:F04D19/04(20060101)
专利摘要:公开(公告)日:2020-05-08摘要:本发明提供一种可以一边确保电源的散热性能,一边防止外部空气侵入到电源的电源一体型
真空泵。电源一体型
真空泵包括:泵底座(4);顶板(302),固定在泵底座(4)上;传热构件(402),以与泵底座(4)及顶板(302)相接触的方式,设置在泵底座(4)与顶板(302)的固定部上;以及O形密封环(401),设置在泵底座(4)与顶板(302)的固定部上,对泵底座(4)与顶板(302)之间进行密封。