【专利】一种压电气体泵(专利号:201910187867.5；109882387B)

专利号：201910187867.5;109882387B
专利状态：有权
专利类型：[发明授权]
专利申请人：浙江师范大学
专利分类号：F04B45/047(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-04-21摘要:本发明属于微流体传输领域，具体涉及一种压电气体泵。泵体上设有出入孔、至少两个直径依次减小体腔及与体腔数量相等的储气室，体腔上设有进口腔和与储气室连通的出口腔，出入孔分别与其相邻体腔的出口腔和进口腔连通，相邻体腔的进出口腔连通；进出口腔与其内所装阀片构成进出口阀；两个泵体相连接并经密封圈将换能器压接在其体腔内，换能器为单个压电振子或由两个压电振子及其中间压接的垫圈构成，压电振子包含驱动器和传感器；换能器及密封圈与泵体构成泵腔，一个泵体上的泵腔串联成一个泵单元，两个泵单元并联；各驱动器及传感器经不同导线组与驱动电源相连，驱动电源输出给驱动器直流电压信号并根据传感器感应电压的变化使驱动电压换向。