【专利】带内加热装置的磁悬浮分子泵(专利号:201911136129.4)

专利号：201911136129.4
专利状态：审中-公开
专利类型：[发明]
专利申请人：北京中科科仪股份有限公司
专利分类号：F04D19/04(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-03-06摘要:本发明提供的带内加热装置的磁悬浮分子泵，属于真空设备技术领域，包括：泵壳、转子、多级静片和拖动级定子，所述拖动级定子在所述泵壳内位于所述多级静叶的下端，在拖动级定子的外壁上设置有PTC热敏电阻；本发明提供的磁悬浮分子泵，采用PTC热敏电阻内置于泵壳内，并设置在拖动级定子的外壁上，通过PTC热敏电阻直接对拖动级定子进行加热，可提高对拖动级定子的加热效率，防止反应生成物在拖动级定子内凝结堆积；由于PTC热敏电阻阻值会随温度升高而增加，在温度达到预设温度后能够自动停止加热，因此可实现其自动恒温控制，而无需对PTC热敏电阻进行控制器控制，因此可简化温度控制系统，减小控制器体积及发热量。