【专利】具有远程等离子体装置的真空泵系统(专利号:201910716516.9)

专利号：201910716516.9
专利状态：审中-公开
专利类型：[发明]
专利申请人：韩国机械研究院
专利分类号：F04C29/00(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-03-06摘要:根据本发明的一个实施例的真空泵系统，其包含：前端泵浦和后端泵浦，其连接于真空管；以及远程等离子体装置，其设置于真空管的外侧。远程等离子体装置包含：管状接地电极，其围绕形成于真空管的第一开口，并且固定在真空管的外壁上；绝缘体，其结合在接地电极的端部上；以及高压电极，其位于绝缘体的外表面。接地电极包含：第一管状部，其与真空管交叉；以及环状限制部，其与第一管状部的绝缘体侧端部保持距离位于第一管状部的内侧，并且形成有直径小于真空管内径的第二开口。