【专利】微机电泵模块(专利号:201920121530.X)

专利号：201920121530.X
专利状态：有权
专利类型：[实用新型]
专利申请人：研能科技股份有限公司
专利分类号：F04B49/06(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-03-10摘要:一种微机电泵模块，包含微机电芯片、至少一信号电极、多个微机电泵、多个开关单元以及多个控制电极。微机电芯片具有长方形的芯片本体，芯片本体具有长边及短边。至少一信号电极设置于芯片本体并邻近短边。多个微机电泵皆具有第一电极与第二电极，第二电极电连接至少一信号电极。多个开关单元电连接多个微机电泵的第一电极。多个控制电极设置于芯片本体，并邻近长边且分别电连接多个开关单元。其中，至少一信号电极接收调变电压以传至多个微机电泵的第二电极，多个开关单元用以控制多个微机电泵启闭作动。