【专利】微机电泵模块(专利号:201920173338.5)

专利号：201920173338.5
专利状态：有权
专利类型：[实用新型]
专利申请人：研能科技股份有限公司
专利分类号：F04B49/06(20060101)
专利摘要：公开（公告）日:2020-01-10摘要:一种微机电泵模块，包含一微机电芯片。微机电芯片包含：一芯片本体，为一长方形态样，具有二长边以及二短边；多个微机电泵，设置于芯片本体，且分别具有一第一电极及一第二电极；多个第一连接点，设置于芯片本体，且电性连接微机电泵的第一电极；多个第二连接点，设置于芯片本体，且电性连接微机电泵的第二电极；至少一第一控制电极，设置于芯片本体，且电性连接第一连接点；以及至少一第二控制电极，设置于芯片本体，且电性连接第二连接点。至少一第一控制电极以及至少一第二控制电极分别设置在芯片本体的相对两侧。