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【专利】一种简易型气液混合阀门箱(专利号:201821704128.6)

来源:互联网 时间:2019-11-12 08:10 点击:84
专利号:201821704128.6
专利状态:有权
专利类型:[实用新型]
专利申请人:至砾机电设备(上海)有限公司
专利分类号:B01F5/02(2006.01)I
专利摘要:公开(公告)日:2019-11-08摘要:本实用新型涉及半导体器件制造业所用的鼓泡装置技术领域,具体地说是一种简易型气液混合阀门箱,其在箱体内设载气管路;液态源管路;真空射流器,其进气口连接所述载气管路的出口端,其真空吸入口连接液态源管路的出口端;混合输出分配管路,一端为混合气进气...