【专利】真空阀及使用该真空阀的真空压力控制系统(专利号:201710404800.3;107461539B)

专利号：201710404800.3;107461539B
专利状态：有权
专利类型：[发明授权]
专利申请人：CKD株式会社
专利分类号：F16K31/122(2006.01)I
专利摘要：公开（公告）日:2019-11-08摘要:本发明提供一种真空阀及使用该真空阀的真空压力控制系统。真空阀(2)被配置在真空容器(8)与真空泵(9)之间，并通过操作流体而对阀开度进行调节，其中，被安装在活塞(25)的凹槽(26)中的垫片(27)具有：接触部(271)，其被设置在径向内侧...