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成都兴林真空设备：高精度光刻机设备厂商2019-04-16
光刻机(紫外曝光机)（MaskAligner)又被称为：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，所以叫MaskAlignmentSystem. 一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。 [查看详情]
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