| 标准号： | JB/T 2965-1992 |  |
| 标准名称： | 溅射离子泵 性能测试方法 | |
| 英文名： | - | |
| 标准状态： |
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| 语言： | 中 | |
| 页数： | 6 | |
| 文件类型： | ||
| 文件大小： | ||
| 发布时间： | 1992-1-1 | |
| 实施时间： | 1992-1-1 | |
| 替代标准： | JB 2965-81 | |
| 标准备注： | 本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。 本标准适用于抽速大于10Ls(-1)的离子泵。 替代情况： JB 2965-81;公告：中华人民共和国工业和信息化部公告 2017年(第23号) 作废日期： 2017-05-12 发布部门： 沈阳真空技术研究所 归口单位： 沈阳真空技术研究所 批文号： 机电科标[1992]2135号 |
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